免温压补偿微型气体流量计（MEMS 热式）产品完整资料

一、产品概述

二、核心技术参数

基础规格

1. 测量原理：MEMS 热式质量传感，直测质量流量，免温压补偿

2. 适用介质：空气、氮气、氧气、氩气、氢气、CO?等洁净干燥无腐蚀气体；潮湿 / 含粉尘气体前端配精密过滤器即可使用

3. 流量量程（可选）：

• 超微量款：0.1~100 sccm（毫升 / 分钟）

• 常规微型款：0.5~50 SLM（升 / 分钟）

4. 精度：标准款 ±1.0% FS；高精度款 ±0.5% FS

5. 重复性：≤±0.1% FS

6. 量程比：100:1 宽量程，极低流速稳定测量

7. 响应时间：10~50ms 可调，快速捕捉瞬时流量波动

8. 工作温度：-10℃~60℃；工作压力：0~1.0MPa

9. 过程接口：G1/8、G1/4、G3/8 内螺纹，Φ6/8/10mm 卡套快插，DN6~DN15 微型口径

10. 接液材质：316L 不锈钢，适配洁净工艺气路

11. 信号输出（多选）：4-20mA、0-5V 电压、RS485 Modbus-RTU、脉冲信号

12. 供电：9~24VDC 宽电压；防护等级 IP40/IP52；可选一体式液晶显示屏（显示瞬时 / 累计流量）

三、产品核心优势

1. 免温压补偿，简化整套系统

传统体积流量计（涡街、孔板、浮子）必须配套温度变送器、压力变送器、流量积算仪做补偿，整套管路接线复杂、多设备叠加误差；

本仪表单台直接输出标准质量流量，不受气源温度、管网压力波动干扰，减少配件采购、安装、故障点位，降低项目综合成本。

2. 微小流量无测量盲区

可测量 0.01m/s 极低流速，适配微量吹扫、微量反应供气、气体微量配比、管路泄漏监测；

传统流量计低流速直接失效，本仪表全量程计量稳定。

3. 无活动部件，低压损、免维护

内部无叶轮、齿轮、轴承等机械结构，不会出现卡堵、磨损故障；

直通流道压力损失极低，不会增加空压机、气瓶供气负荷，长期运行几乎无需维护。

4. 微型化机身，适配狭小安装空间

整机尺寸紧凑，支持机柜内置、实验台管路、设备内部集成；

多角度显示屏可选，狭小空间读数方便，无需改造大面积管路。

5. 自动化集成友好

多类型信号输出，可直连 PLC 定量控制柜、工控机、数据采集仪；

搭配自控阀门可实现气体自动定量供气、多组分气体自动配比，支持流量上下限报警连锁。

四、典型应用行业 + 落地案例

案例 1：精细化工微反应釜微量保护气供给

• 工况：反应釜持续通入微量氮气?；?，流量 2~15L/min，车间室温存在波动，氮气瓶压力随使用持续下降；原浮子流量计压力下降后计量偏差超 8%，影响反应纯度。

• 配置：G1/4 螺纹微型气体质量流量计 + PLC 定量控制?？?/span>

• 使用效果：

• 免温压补偿设计，气源压力、温度变化流量数值稳定，计量误差稳定在 1% 以内；

• 设定氮气供给流量自动恒流，累计用气数据自动存储，原料成本核算精准。

案例 2：实验室气体精密配比设备（氢气 + 氮气混合气）

• 工况：多路微量气体混合，单路流量 0.2~10SLM，实验环境昼夜温差大，需要精准配比、数据可追溯。

• 配置：多路微型 MEMS 气体质量流量计 + 多通道触摸屏控制柜

• 使用效果：

• 每一路独立计量，无需额外温压采集设备；

• 快速响应气流调节，混合气配比精度稳定，每批次实验流量数据本地保存，满足科研数据溯源要求。

案例 3：光伏 / 半导体设备氩气吹扫流量监控

• 工况：光伏镀膜设备、半导体刻蚀机微量氩气吹扫，流量 5~30SLM，洁净车间狭小设备内部安装，对计量稳定性要求高。

• 配置：小型卡套接口微型气体质量流量计，RS485 通讯对接设备中控

• 使用效果：

• 机身小巧直接集成设备内部，不受车间温度波动影响；

• 实时上传瞬时流量至设备系统，流量异常自动报警，保障镀膜、刻蚀工艺稳定，提升产品良率。

案例 4：生物制药发酵罐氧气微量补给

• 工况：发酵罐持续微量通入氧气，流量 1~20L/min，车间季节温差大，氧气钢瓶压力持续衰减，需稳定控制供氧流量保证菌种活性。

• 配置：高精度 ±0.5% FS 微型气体质量流量计，联动气动调节阀恒流供气

• 使用效果：

• 免去温压补偿仪表，管路布线简化；

• 全年四季供氧流量波动极小，发酵产物产量稳定，符合医药 GMP 工艺参数记录规范。

案例 5：环保检测仪器采样气流量控制

• 工况：烟气、空气在线监测设备内置微量采样气路，流量 0.1~5SLM，设备内部安装空间有限。

• 配置：无显示迷你款微型气体质量流量计，0-5V 信号输出接入检测仪主板

• 使用效果：

• 机身极小直接嵌入检测设备，不受户外环境温度变化干扰，采样流量恒定，保证废气、空气检测数据准确。

五、选型关键注意事项

1. 介质洁净度：仪表适配干燥洁净气体；气体含油污、水雾、粉尘时，流量计上游必须加装 Y 型精密过滤器 + 气水分离器，避免污染 MEMS 传感芯片影响精度。

2. 流量量程匹配：确认实际工作最小、最大流量，选型满量程为实际最大流量 1.2 倍左右，保证低流量段精度；超微量 sccm 级工况优先选 0.1~100sccm 规格。

3. 温压补偿需求：仅需质量流量计量、现场气源温压波动大，优先选用本款免温压补偿微型热式；若仅需粗略体积读数、预算有限可选用浮子流量计。

4. 防爆需求：氢气、甲烷等易燃易爆气体工况，可选本安防爆款微型气体质量流量计，适配防爆车间 1 区 / 2 区环境。

5. 集成需求：设备内置、实验台安装选迷你无屏款；现场人工读数选一体式液晶显示屏款；对接中控系统优先 RS485 Modbus 输出。

六、售后说明

1. 仪表整机质保 2 年，MEMS 传感芯片质保 2 年；

2. 出厂附带气体原厂标定证书，支持氮气、空气、氢气等介质单独标定；

3. 批量采购可远程指导接线、参数设置，量大支持上门调试；

4. 非标支持：定制特殊流量量程、防爆外壳、多路流量采集控制柜；

5. 页面报价仅作参考，成交价格随采购数量、选配功能调整。