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DN8高精密阀控气体质量流量计
产品型号:
厂商性质:生产厂家
更新时间:2026-05-21
访 问 量:1727
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联系电话:17701683668
专为微小气体流量的精密测量与闭环控制场景打造,集热式质量流量传感与高精度电磁阀控制于一体,实现高稳定性、高重复性的气体流量管理,是实验室、半导体制程、医疗设备的理想选择。
设备广泛应用于实验室气相配比、半导体腔体吹扫、医疗设备气体控制、工业微量供气等场景,可替代传统 “流量计 + 手动阀" 的组合方案,大幅提升流量控制精度与自动化水平。
| 参数项 | 规格说明 |
|---|---|
| 公称通径 | DN8 |
| 测量原理 | 热式 MEMS 质量流量传感 |
| 控制方式 | PID 闭环控制 + 高精度电磁阀 |
| 测量精度 | ±0.5%FS |
| 控制精度 | ±1.0%FS |
| 重复性 | ±0.1%FS |
| 量程范围 | 0.01sccm ~ 20slm(可定制微小 / 大量程) |
| 量程比 | 1:100 |
| 介质温度 | 0~50℃(可扩展 - 10~80℃) |
| 工作压力 | 0.1~1.0MPa(可定制高压版) |
| 工作电源 | DC24V ±10% |
| 功耗 | ≤5W |
| 设定信号 | 0-5V / 0-10V / 4-20mA / RS485 数字信号 |
| 反馈信号 | 4-20mA / RS485 Modbus RTU |
| 通讯协议 | Modbus RTU(标准) |
| 机械接口 | DN8 不锈钢内螺纹 / 卡套接口(可定制) |
| 阀体材质 | 不锈钢 316L(可选防腐涂层) |
| 防护等级 | IP40(可选 IP65) |
| 适用气体 | 空气、N?、O?、Ar、H?、He、CH?、CO?等清洁气体(腐蚀性气体可定制) |
| 预热时间 | 3~5 分钟 |
DN8 专用流道设计,优化流场分布,避免小口径管路常见的流场畸变问题
MEMS 传感芯片,响应速度快,零点长期稳定,免频繁校准
内置智能 PID 算法,自动修正上游压力波动带来的流量偏差,控制精度可达 ±1.0% FS
流量计与电磁阀集成设计,减少管路连接点,降低泄漏风险
无需额外配置调节阀,一套设备即可完成 “测量 + 控制 + 反馈" 全流程
体积小巧,适配设备集成、机柜安装等紧凑空间
自带 LCD 显示与按键,本地可查看瞬时 / 累计流量、设定目标值、配置通讯参数
支持本地 / 远程双控制模式,现场调试与自动化控制灵活切换
出厂前已完成气体标定,安装后无需额外校准,通电即可使用
多气体标定服务,可根据用户实际使用气体进行出厂标定,确保测量精度
支持 Modbus RTU 通讯,可与上位机 / PLC 组网,实现多通道气体配比自动化控制
关键部件采用进口电磁阀芯,寿命长、响应快,适合长期稳定运行
显示界面:主界面显示瞬时流量、设定值、单位;参数界面显示介质、通讯参数、PID 参数
按键功能:
设定键:修改目标流量值、切换控制模式
菜单键:进入参数设置界面(量程、单位、通讯地址、PID 参数)
确认 / 退出键:保存设置或返回主界面
默认通讯参数:9600bps,8 数据位,无校验,1 停止位(Modbus RTU)
可配置项:设备地址、波特率、校验方式、流量单位(sccm/slm/NL/min)、标况温度、报警阈值
控制模式:
本地控制:通过面板按键直接设定目标流量,电磁阀自动调节
远程控制:通过模拟量信号或 RS485 数字信号设定目标流量,实现自动化控制
安装方式:水平 / 垂直安装均可,介质流向需与阀体标注方向一致
安装要求:前后保留直管段(前≥5D、后≥3D),避免弯头、阀门直接靠近阀体,影响流场稳定
接线接口:DB9 航空插头,支持电源、信号、通讯一体化接线
实验室科研:气相色谱仪、微反应装置气体配比、催化剂测试供气控制
半导体制程:晶圆腔体吹扫、微量载气控制、半导体设备工艺供气
医疗与生物设备:呼吸机氧流量控制、麻醉机气体配比、医用制氧设备流量调节
工业自动化:气体混合配比、检漏测试、燃烧过程控制、精密喷涂供气
新能源行业:锂电池注液?;て刂?、燃料电池供气测试
精密仪器校准:气体流量标准装置、检漏仪流量校准
确定气体介质与标况单位(sccm/slm/NL/min)
确定流量控制范围与工作压力 / 温度
确定控制与信号方式(本地 / 远程控制、模拟量 / 数字量输出)及特殊需求(防腐 / 高压)
出厂前全流程标定与老化测试,确保性能稳定可靠
质保期:2 年质保,非人为损坏故障免费维修 / 更换
提供全程技术支持:选型咨询、接线指导、参数调试、现场技术支持
可定制服务:量程定制、气体标定、接口定制、特殊工况适配
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