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微小热式气体质量流量计

微小热式气体质量流量计采用热扩散原理 + MEMS 流量芯片,面向小流量、清洁气体的精密测量与过程控制。独特封装兼容多管径,免温压补偿、低功耗、易安装,全面替代传统容积式、差压式流量计,广泛用于半导体、医疗、实验室、电子制程等精密场景。

  • 产品型号:
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2026-05-20
  • 访  问  量:2729
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产品详情

微小热式气体质量流量计|HJAWM?YT 系列详情页    多钦仪表(上海)有限公司选型推荐

专为微小流量、精密测控场景打造,MEMS 芯片直测质量流量,无需温压补偿,小口径即装即用。


一、核心亮点|您的专属需要

MEMS 微传感:高精度、高灵敏、零点稳定

无需温压补偿:直接测质量流量,误差更低

超宽量程比 1:100:微流量不漏测,大流量不超程

快至 50ms 响应:瞬态波动实时捕捉

LCD 双显:瞬时流量 + 累计流量一目了然

多信号输出:4?20mA / 0?5V / 0?10V / RS485(Modbus)

标准螺纹接口:PT1/2、G1/4,安装零门槛

小体积适配:DN8/DN15 管路,空间紧凑也能用

微小热式气体质量流量计

微小热式气体质量流量计

微小热式气体质量流量计



二、产品概述

微小热式气体质量流量计,采用热扩散原理 + MEMS 流量芯片,面向小流量、清洁气体的精密测量与过程控制。独特封装兼容多管径,免温压补偿、低功耗、易安装,全面替代传统容积式、差压式流量计,广泛用于半导体、医疗、实验室、电子制程等精密场景。


三、技术参数|计量稳定

参数项规格
工作电源DC24V/2.5W
测量精度±1.0%FS
量程范围0.3NmL/min ~ 1000NL/min
量程比1:100
响应时间50ms
介质温度-10~55℃
工作压力≤1.5MPa(可定制 3MPa)
输出信号4?20mA / 1~5V / 0?5V / 0?10V
通讯接口RS485(Modbus RTU)
机械接口PT1/2、G1/4 内螺纹(可定制)
适用管径DN8、DN15
防护等级IP40
显示LCD 瞬时 + 累计流量
预热时间3?4 分钟
标况温度0℃/20℃/25℃可调,默认 25℃
适用气体Air、N?、O?、CH?、Ar、CO?、He、H?、C?H?(其他可定制)


四、核心优势|为什么选我们

1. 测量更准更稳

  • MEMS 芯片,抗干扰、重复性好

  • 零点长期稳定,免频繁校准

  • 直接质量流量,不受温压波动影响


2. 使用更省心

  • 标准螺纹 + 转接接头,水平 / 垂直均可装

  • 控制阀建议装下游,保留前后直管段更稳定

  • 大屏 LCD,读数直观,累积 / 瞬时同屏看


3. 接入更灵活

  • 模拟量 + 数字量双输出,PLC / 触摸屏 / 上位机全兼容

  • 可扩展 PNP 报警输出,上下限超限提醒

  • Modbus 标准协议,多台组网更方便


4. 场景更适配

  • 微流量起步0.3NmL/min,泄漏 / 微量供气精准测

  • 小口径 DN8/DN15,实验室 / 设备集成

  • 多种气体标定,一机多用,降低成本


六、应用场景|全覆盖

  • 半导体:制程供气、尾气监测、腔体吹扫

  • 实验室:气相色谱、微反应、气体发生装置

  • 电子汽车:锂电池注液、检漏、微量载气

  • 工业制气:氮气 / 氧气 / 氩气小流量配比与监控

  • 航空航天:精密气路、泄漏检测、环境模拟


七、安装须知|稳定可靠

  • 安装方式:水平 / 垂直安装均可

  • 阀门布局:控制阀、切断阀装在流量计下游

  • 直管段:保留足够前后直管段,保证流场稳定

  • 转接可选:卡套接头、快插接头、宝塔接头

  • 严禁超量程使用,避免损坏 MEMS 芯片


八、质保与服务

  • 2 周内:质量问题免费更换

  • 1 年内:正常使用故障免费维修

  • 不在保修:违规安装 / 接线、自行拆机、人为损坏、超期老化、不可抗力


九、选型指南|简单 3 步

  1. 确定流量范围:0.3NmL/min~1000NL/min

  2. 确定管路口径:DN8 / DN25

  3. 确定输出方式:模拟量 / RS485/PNP


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